I. Latar Belakang Proyek dan Spesifikasi Peralatan
Studi kasus ini melibatkan tungku nitridasi ion cerdas otomatis penuh, model WDL-IV-75A, yang menggunakan struktur vertikal satu lonceng satu stasiun. Peralatan ini mampu melakukan nitridasi ion dan nitridasi ion lunak pada baja paduan, baja cetakan, dan baja tahan karat.
Zona kerja efektif badan tungku berukuran diameter 600 mm dan tinggi 800 mm, dengan kapasitas pemuatan maksimum 400 kg. Rentang suhu operasi umum adalah 500 hingga 600°C, dengan suhu operasi maksimum tidak melebihi 650°C. Tingkat vakum tertinggi tidak lebih dari 6,7 Pa, laju kenaikan tekanan tidak lebih dari 5 Pa/jam, dan waktu yang dibutuhkan untuk evakuasi dari tekanan atmosfer ke vakum tertinggi tidak melebihi 30 menit. Kenaikan suhu permukaan selubung tungku tidak melebihi 55°C.
Dalam penamaan model, IV mewakili sistem kontrol digital generasi keempat, 75 mewakili arus rata-rata maksimum catu daya pulsa sebesar 75 ampere, dan A mewakili tipe cerdas otomatis penuh.
II. Hubungan Pencocokan Antara Ruang Volume Besar dan Kapasitas Catu Daya
Dari model 30A hingga model 75A, arus rata-rata maksimum catu daya pulsa meningkat 1,5 kali, sementara volume ruang efektif mengembang dari sekitar 28 liter menjadi sekitar 226 liter, sekitar 8 kali. Perubahan yang tidak proporsional ini mengungkapkan prinsip desain peralatan nitridasi ion: perluasan volume ruang tidak memerlukan peningkatan arus catu daya secara proporsional dengan volume, karena daya pemanas untuk nitridasi ion terutama bergantung pada luas permukaan benda kerja dan kerapatan arus yang dibutuhkan, bukan pada volume spasial ruang.
Rentang kerapatan arus lucutan pijar abnormal yang diberikan dalam proposal adalah 0,1 hingga 5 mA/cm². Berdasarkan rentang ini, untuk kombinasi benda kerja dengan kapasitas pemuatan 400 kg dan luas permukaan yang relatif besar, arus rata-rata maksimum 75 A memberikan margin desain yang jelas untuk batas atas luas permukaan benda kerja yang dapat didukung. Sementara itu, tegangan keluaran catu daya pulsa dapat disesuaikan secara kontinu dari 0 hingga 800 V tanpa lonjakan tiba-tiba di atas 200 V, dan siklus kerja dapat disesuaikan secara kontinu dalam rentang 10% hingga 85%.
III. Logika Penyesuaian Siklus Kerja Catu Daya Pulsa
Lucutan gas, sebagai sumber daya, menghadirkan beban dengan karakteristik resistansi negatif. Benda kerja, yang bertindak sebagai katoda, memiliki bentuk permukaan dan metode penumpukan yang memengaruhi kerapatan arus permukaan. Nitridasi ion memiliki kondisi ambang batas minimum: untuk memenuhi kerapatan arus yang dibutuhkan untuk cakupan pijar yang seragam, daya pemanas mungkin melebihi daya yang dibutuhkan untuk mempertahankan suhu benda kerja. Kontradiksi ini sangat menonjol untuk benda kerja berdinding tipis dan ringan.
Setelah catu daya pulsa memperkenalkan siklus kerja yang dapat disesuaikan, daya pemanas rata-rata sama dengan tegangan puncak dikalikan arus, kemudian dikalikan siklus kerja. Dengan mengurangi siklus kerja, daya pemanas rata-rata dapat diturunkan sambil mempertahankan tegangan puncak yang cukup untuk mempertahankan cakupan pijar, sehingga menyelesaikan kontradiksi yang disebutkan di atas. Mekanisme ini adalah alasan inti mengapa rangkaian peralatan ini dapat memproses benda kerja berat dan benda kerja tipis serta ringan secara bersamaan.
Jalur implementasi untuk pemadaman busur cepat adalah sebagai berikut: memanfaatkan prinsip induksi elektromagnetik dalam sirkuit lucutan untuk mendeteksi sinyal busur dengan cepat, kemudian segera mengontrol sakelar elektronik berkecepatan tinggi dari sirkuit arus utama melalui perangkat logika digital berkecepatan tinggi, memadamkan busur dalam waktu 2 μs.
IV. Desain Insulasi Termal dan Keseragaman Suhu Badan Tungku Volume Besar
Silinder lonceng mengadopsi struktur dinding ganda berpendingin air dan sistem pendingin air multi-saluran untuk memastikan keseragaman suhu tungku. Lapisan insulasi bagian dalam silinder terbuat dari baja tahan karat, sedangkan dinding silinder bagian dalam dan luar terbuat dari pelat baja karbon berkualitas tinggi.
Badan tungku dilengkapi dengan dua lapis pelindung panas baja tahan karat 304, masing-masing lapis setebal 2 mm, dan dua lapis pelindung panas baja tahan karat 304 juga dipasang di bagian atas pelat dasar tungku. Dibandingkan dengan konfigurasi pelindung panas enam lapis pada kasus sebelumnya, model ini memiliki lebih sedikit lapisan pelindung panas. Perbedaan ini berasal dari perubahan rasio volume ruang terhadap luas permukaan – ruang bervolume besar memiliki area pembuangan panas yang relatif lebih kecil, dan proporsi kehilangan panas berkurang, sehingga jumlah lapisan insulasi dapat dikurangi secara tepat sambil memastikan operasi suhu tinggi jangka panjang.
Pelat katoda didukung pada dasar tungku oleh tiga set mika cor berkualitas tinggi, dengan ketinggian yang dapat disesuaikan. Pelat katoda terbuat dari pelat baja karbon dengan ketebalan tidak kurang dari 30 mm; rangka pengencang nampan bahan yang bersentuhan dengan benda kerja juga terbuat dari baja karbon berkualitas tinggi. Perangkat koneksi katoda dirancang sebagai koneksi kaku untuk menghindari masalah panas berlebih yang disebabkan oleh kopling cepat yang longgar. Struktur katoda meliputi insulasi PTFE katoda, mika insulasi katoda, soket koneksi konduktor katoda, fitting koneksi katoda, dan lug kabel yang dipasang dengan baut stud M10.
Dua termokopel dimasukkan dari pelat dasar tungku dan diposisikan di tengah pelat katoda untuk mensimulasikan kepala pengukur suhu. Satu digunakan untuk kontrol suhu oleh catu daya pulsa pemanas ion, dan yang lainnya terhubung ke instrumen alarm untuk pemantauan suhu multi-arah. Tiga jendela observasi diatur pada lingkar luar selubung tungku untuk observasi kondisi di dalam tungku dari berbagai arah.
V. Sistem Vakum dan Kontrol Loop Tertutup Tekanan
Sistem vakum digunakan untuk pra-vakum badan tungku dan untuk penggantian atmosfer serta pembuangan gas buang selama proses nitridasi. Set pompa terdiri dari satu pompa baling-baling putar 2X-15, satu pompa vakum elektromagnetik dengan katup inflasi, dan satu katup kupu-kupu vakum tinggi. Pompa baling-baling putar adalah unit seri Guangdong Xunda 2X, tahan terhadap korosi gas proses, dikontrol oleh konverter frekuensi, dan dilengkapi dengan katup kupu-kupu vakum tinggi GI-50 sebagai katup kontrol utama.
Prinsip kontrol loop tertutup tekanan adalah sebagai berikut: pemancar tekanan mengukur tekanan tungku dan mengeluarkan sinyal arus standar ke pengontrol digital. Pengontrol melakukan perhitungan PID berdasarkan nilai tekanan yang ditetapkan dan nilai yang disampel secara real-time, kemudian mengeluarkan sinyal arus standar ke konverter frekuensi. Dengan menyesuaikan kecepatan motor pompa vakum, kecepatan pemompaan disesuaikan, sehingga menjaga tekanan tungku tetap konstan pada nilai yang ditetapkan proses. Metode kontrol ini mencapai akurasi kontrol tekanan ±1 Pa. Penggunaan gabungan pompa vakum dan konverter frekuensi sangat mengurangi keausan mekanis badan pompa selama startup, dan operasi kecepatan rendah jangka panjang dapat memperpanjang masa pakai secara signifikan.
Pengukuran vakum menggunakan pemancar tekanan absolut diafragma kapasitif tipe ZJ-1C, dengan rentang 0 hingga 1000 Pa, keluaran 4 hingga 20 mA, dan catu daya 15 hingga 30 VDC. Pengukur vakum ini tidak terpengaruh oleh jenis dan komposisi media yang diukur, dan nilai yang diukur ditampilkan oleh instrumen tampilan digital dan berpartisipasi dalam kontrol tekanan tungku.
VI. Sistem Distribusi Gas dan Pendingin Air
Sistem distribusi gas digunakan untuk mengontrol pengenalan gas proses ke dalam tungku. Sumber gas meliputi nitrogen, hidrogen, dan gas proses lainnya, yang disediakan oleh pengguna. Gas melewati pengukur aliran massa dan kemudian dimasukkan ke dalam badan tungku melalui tangki pencampur khusus sesuai dengan formula proses. Model ini dilengkapi dengan dua pengukur aliran massa khusus, yang mengontrol aliran nitrogen dan hidrogen secara terpisah – ini adalah perbedaan utama dari konfigurasi pengukur aliran tunggal pada model 30A, yang sesuai dengan persyaratan yang lebih tinggi untuk presisi penyesuaian komposisi atmosfer di ruang bervolume besar.
Pengukur aliran massa adalah unit seri HORIBA S500 Jepang, dengan waktu respons kurang dari 0,3 ±2% detik dari keadaan tertutup penuh hingga mencapai titik setel saat kontrol dimulai dan saat titik setel diubah selama kontrol. Rentang kontrol mencakup 1 hingga 100% skala penuh, beroperasi dari satu catu daya DC24V universal, dengan sirkuit daya internal terisolasi dari sirkuit input dan output.
Persyaratan air pendingin: suhu air masuk tidak melebihi 31°C, tekanan air masuk 0,15 hingga 0,25 MPa, dan laju aliran total 20 m³/jam. Setiap cabang air pendingin dilengkapi dengan katup masuk dan keluar terpisah. Semua pipa air pendingin, katup, dan fitting yang terpasang pada peralatan terbuat dari baja tahan karat. Pengukur tekanan kontak listrik dipasang pada pipa masuk utama untuk alarm jika terjadi tekanan masuk yang tidak normal. Katup masuk air cadangan dipasang pada pipa masuk air utama, terhubung ke pipa air keran pengguna, sehingga badan tungku dapat didinginkan oleh air keran jika terjadi pemadaman listrik atau air yang tidak terduga.
VII. Arsitektur Loop Tertutup Tiga Parameter Sistem Kontrol
Sistem kontrol menggunakan pengontrol logika terprogram seri FX3G dan layar sentuh Kunlun Tongtai TPC1231Ni sebagai pusat kontrol utama. PLC memiliki kapasitas memori program 32K langkah, kecepatan pemrosesan instruksi dasar 0,21 μs, dan dua antarmuka komunikasi berkecepatan tinggi (RS422 dan USB). Layar sentuh adalah LCD TFT 12 inci dengan resolusi 1920×1080, sentuhan resistif empat kabel, frekuensi utama 1 GHz, dan perangkat lunak konfigurasi McgsPro yang sudah terpasang sebelumnya.
Sistem mengadopsi arsitektur digital penuh manajemen terpusat multi-tugas dan kontrol terdistribusi, mampu secara bersamaan mencapai kontrol loop tertutup dari tiga parameter kunci dalam nitridasi ion: akurasi kontrol suhu ±1°C, akurasi kontrol tekanan ±1 Pa, dan akurasi kontrol aliran ±0,5%.
Kontrol suhu menggunakan pengontrol digital seri Shimaden SRS13 Jepang dengan regulasi PID, membentuk sistem regulasi loop tertutup suhu dengan sirkuit kontrol suhu dan termokopel. Kontrol tekanan juga menggunakan pengontrol digital Shimaden SRS13, membentuk sistem regulasi loop tertutup tekanan dengan konverter frekuensi dan sensor tekanan.
Dalam mode operasi otomatis, sistem secara otomatis memulai pompa pemeliharaan dan pompa pra-evakuasi, membuka katup baffle dan katup solenoid untuk menciptakan vakum. Setelah vakum mencapai tekanan kerja untuk aktivasi lucutan pijar, tegangan lucutan pijar dan pemanasan berbantuan resistansi secara otomatis diaktifkan untuk melakukan proses arcing dan pembersihan benda kerja awal. Setelah arcing berakhir, sistem secara otomatis memasuki tahap pemanasan, secara otomatis menyesuaikan laju aliran, tekanan, tegangan, siklus kerja, dan arus sesuai dengan langkah desain kurva proses. Ketika suhu mencapai suhu proses, sistem memasuki tahap pemeliharaan suhu, mempertahankan sesuai dengan waktu penahanan proses yang ditetapkan. Setelah periode penahanan, sistem mematikan pompa vakum dan semua katup pada saluran ekstraksi. Setelah suhu tungku turun ke suhu yang ditetapkan, semua sakelar secara otomatis mati, dan sistem memasuki keadaan berhenti.